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| DZ611 | ÓÃÓÚ¼¯³ÉµçÂ·ÖÆÔìÖУ¬½ðÊôͼ°½ðÊôÎÙCMPºóÇåÏ´µÄËáÐÔÅä·½ÐÍÇåÏ´Òº£¬Ó¦Óø²¸Ç¶à¸ö¹¤Òսڵ㣬ÄÜÓÐЧȥ³ý±íÃæ¿ÅÁ£¡¢ÓлúÎï¼°½ðÊôÎÛȾÎï¡£ | ²úÆ·ÇåϴЧ¹ûÓÅÒ죬°²È«ÐÔÄܸߣ¬¶Ô͵ĸ¯Ê´ËÙÂÊµÍ | |
| DZ101 | ÓÃÓÚ¼¯³ÉµçÂ·ÖÆÔìÖУ¬½ðÊôÎٺ͵ª»¯¹èCMPºóÇåÏ´µÄÅä·½ÐÍÇåÏ´Òº£¬ÔÚÉæ¼°¶àÖØ²ÄÁϽçÃæµÄCMPºóÇåÏ´¹¤ÒÕÖоßÓÐÁ¼ºÃµÄÇå½à±íÏÖ¡£²úÆ·ÒÑÔÚÂß¼Æ÷¼þÁ¿²úÖÐʹÓᣠ| ²úÆ·¶ÔW¡¢SiN¡¢TEOS¡¢TiNºÍCoµÈ¶àÖÖ²ÄÁϾßÓÐÁ¼ºÃµÄ¼æÈÝÐÔ¼°ÇåϴЧ¹û | |
| DZ105 | ÓÃÓÚ¼¯³ÉµçÂ·ÖÆÔìÖУ¬½ðÊôÎÙÇå³ýÕ´ÎÛµÄËáÐÔÅä·½ÐÍÇåÏ´Òº£¬Ö¼ÔÚÕë¶ÔÅ×¹âµæ±íÃæÇå½à£¬ÓÃÓÚ½µµÍ½ðÊôÕ¤¼«¹¤ÒÕµÄÕ´Î۳̶ȡ£ | ²úÆ·¶ÔW¡¢SiN¡¢Co¡¢Al¡¢Ti¡¢TiN¾ßÓм«µÍµÄ¸¯Ê´ËÙÂʼ°Á¼ºÃµÄÇåϴЧ¹û | |
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| DZ6XXϵÁÐ | ÓÃÓÚ¼¯³ÉµçÂ·ÖÆÔìÖУ¬½ðÊôÂÁCMPºóÇåÏ´µÄËáÐÔÇåÏ´Òº£¬¾ßÓÐÁ¼ºÃµÄÇå½à±íÏÖ¼°¼«µÍµÄȱÏÝÂÊ£¬ÒÑÔÚÂß¼Æ÷¼þÁ¿²úÖÐʹÓᣠ| ²úÆ·ÇåϴЧ¹ûÓÅÒ죬ÓëAl¡¢TEOSµÈ¶àÖÖ²ÄÁϼæÈÝÐԼѣ¬¶ÔÂÁµÄ¸¯Ê´ËÙÂʽϵ͡£ | |
| DZ1XXϵÁÐ | ÓÃÓÚ¼¯³ÉµçÂ·ÖÆÔìÖУ¬¶à¾§¹èºÍµª»¯¹è CMPºóÇåÏ´µÄÅä·½ÐÍÇåÏ´Òº£¬Ó¦ÓÃÓÚÅ×¹âµæ±íÃæ£¬ÄÜÓÐЧȥ³ý±íÃæ¿ÅÁ£ÎÛȾÎÒÑÔÚÂß¼Æ÷¼þÁ¿²úÖÐʹÓᣠ| ·Ç½ðÊôÀ໯ѧ»úеÅ×¹âºóÇåÏ´Òº | ²úÆ·¼æÈÝPoly-Si¡¢SiNºÍTEOS£¬¿ÉÒÔÊÊÓÃÓÚSTI¡¢ILD¡¢ILD0ÒÔ¼°PolyµÈÖÆ³ÌµÄ¸¨ÖúÇåÏ´ |
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Õ³¶È4000cP~7000cP£»<br> ¹Ìº¬Á¿10%~20%£»<br> Ĥºñ5¦Ìm~15¦Ìm¹Ì»¯Î¶È450¡æ~480¡æ£»<br> 1%Ê§ÖØÎ¶ȣ¾560¡æ£»<br> ¾ß±¸ÓÅÒìµÄÁ¦Ñ§¹âѧÐÔÄÜ
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Õ³¶È20cP~22cP£»<br> Ë®·Ö£¼50ppm£»<br> 395nmUV¹Ì»¯£»<br> Ĥºñ6¦Ìm~15¦Ìm£»<br> ¾ß±¸ÓÅÒìµÄ¹âѧÐÔÄÜ
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BPDL
·Ö±æÂÊ5¦Ìm£»<br> Á£¾¶50~70nm£»<br> ¹Ì»¯Î¶È250¡æ~280¡æ£»<br> Ĥºñ1¦Ìm~5¦Ìm£»<br> OD£¨¹âÃܶȣ©£¾1/¦Ìm
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